Plasma treatment method and plasma treatment device

WO2019009092 Art A1 10. Januar 2019

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019009092
Aktenzeichen: EP18828975
Anmeldetag: 21. Juni 2018
Veröffentlichung: 10. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31C23C16/52H01L21/3065H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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