Verfahren und Vorrichtung zum Untersuchen einer Messspitze eines Rastersondenmikroskops

WO2019011702 Art A1 17. Januar 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019011702
Aktenzeichen: EP18738260
Anmeldetag: 2. Juli 2018
Veröffentlichung: 17. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q40/00G01Q40/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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