Device and method for positioning first object in relation to second object

WO2019013274 Art A1 17. Januar 2019

Anmelder: Shinkawa Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019013274
Aktenzeichen
EP18832778
Anmeldetag
12. Juli 2018
Veröffentlichung
17. Januar 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/52H01L21/60
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shinkawa Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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