Ion beam irradiation device

WO2019013280 Art A1 17. Januar 2019

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019013280
Aktenzeichen
EP18832501
Anmeldetag
12. Juli 2018
Veröffentlichung
17. Januar 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/317H01J37/30H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissin Electric Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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