Tool health monitoring and matching
WO2019013828
Art A1
17. Januar 2019
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019013828
- Aktenzeichen
- EP17917874
- Anmeldetag
- 26. Juli 2017
- Veröffentlichung
- 17. Januar 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G05B19/418G05B23/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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