Step ladder with component rack system for fabrication facility

WO2019014073 Art A1 17. Januar 2019

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019014073
Aktenzeichen: EP18832311
Anmeldetag: 6. Juli 2018
Veröffentlichung: 17. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: E06C1/387E06C9/06E06C7/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Hochbau & Gebäudetechnik

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