Apparatus for and method of sensing fluorine concentration

WO2019014276 Art A1 17. Januar 2019

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019014276
Aktenzeichen: EP18832818
Anmeldetag: 10. Juli 2018
Veröffentlichung: 17. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/17G01N29/24G01N21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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