Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy (oes) in Plasma Processing

WO2019014343 Art A1 17. Januar 2019

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019014343
Aktenzeichen: EP18832676
Anmeldetag: 11. Juli 2018
Veröffentlichung: 17. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01J3/443G01N21/68G01N21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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