Magnetic levitation system, carrier for a magnetic levitation system, and method of operating a magnetic levitation system

WO2019015783 Art A1 24. Januar 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019015783
Aktenzeichen
EP17745305
Anmeldetag
21. Juli 2017
Veröffentlichung
24. Januar 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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