Optical Membrane

WO2019015905 Art A1 24. Januar 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019015905
Aktenzeichen
EP18731459
Anmeldetag
20. Juni 2018
Veröffentlichung
24. Januar 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G03F1/62
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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