Mems device
WO2019016058
Art A1
24. Januar 2019
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019016058
- Aktenzeichen
- EP18740799
- Anmeldetag
- 12. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 24. Januar 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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