Method for producing three-dimensional structure, method for producing vertical transistor, wafer for vertical transistor, and substrate for vertical transistor

WO2019017326 Art A1 24. Januar 2019

Anmelder: GlobalWafers Japan Co., Ltd., Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019017326
Aktenzeichen
EP18834560
Anmeldetag
17. Juli 2018
Veröffentlichung
24. Januar 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/336H01L21/316H01L29/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
GlobalWafers Japan Co., Ltd.
Tohoku University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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