Method for producing three-dimensional structure, method for producing vertical transistor, wafer for vertical transistor, and substrate for vertical transistor
WO2019017326
Art A1
24. Januar 2019
Anmelder: GlobalWafers Japan Co., Ltd., Tohoku University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019017326
- Aktenzeichen
- EP18834560
- Anmeldetag
- 17. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 24. Januar 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/336H01L21/316H01L29/78
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- GlobalWafers Japan Co., Ltd.
Tohoku University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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