Compound, pattern forming substrate, coupling agent, and pattern forming method

WO2019017386 Art A1 24. Januar 2019

Anmelder: Nikon Corporation, Kanagawa University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019017386
Aktenzeichen: EP18835166
Anmeldetag: 18. Juli 2018
Veröffentlichung: 24. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C07D495/04C07F7/18G03F7/004G03F7/075

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Kanagawa University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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