Container for holding and transporting reticles having a transparent window assembly
WO2019018281
Art A1
24. Januar 2019
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019018281
- Aktenzeichen
- EP18835675
- Anmeldetag
- 16. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 24. Januar 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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