Image-based metrology overlay metrology and monitoring using through-focus imaging

WO2019018488 Art A1 24. Januar 2019

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019018488
Aktenzeichen: EP18834746
Anmeldetag: 18. Juli 2018
Veröffentlichung: 24. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N21/95H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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