Apparatus and system for processing a substrate in a vacuum chamber, and method of transporting a carrier in a vacuum chamber

WO2019020167 Art A1 31. Januar 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019020167
Aktenzeichen: EP17751042
Anmeldetag: 24. Juli 2017
Veröffentlichung: 31. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04C23C14/50C23C16/04C23C16/458H01L21/68H01L51/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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