Sputtering device cathode unit

WO2019021519 Art A1 31. Januar 2019

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019021519
Aktenzeichen
EP18838574
Anmeldetag
6. März 2018
Veröffentlichung
31. Januar 2019
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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