Vapor deposition raw material comprising organoplatinum compound, and vapor deposition method using said vapor deposition raw material

WO2019021836 Art A1 31. Januar 2019

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019021836
Aktenzeichen: EP18838964
Anmeldetag: 12. Juli 2018
Veröffentlichung: 31. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C07C211/40C07F15/00H01L21/28H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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