Calibration device, encoder device, drive device, stage device, robot device, encoder device manufacturing method, and calibration program

WO2019021845 Art A1 31. Januar 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019021845
Aktenzeichen: EP18839170
Anmeldetag: 12. Juli 2018
Veröffentlichung: 31. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01D5/347G01D5/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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