Exposure device and exposure method

WO2019021858 Art A1 31. Januar 2019

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019021858
Aktenzeichen: EP18839468
Anmeldetag: 13. Juli 2018
Veröffentlichung: 31. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toppan Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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