An ionization chamber chip for a nano-aperture ion source, method of fabrication thereof, and a proton beam writing system

WO2019022672 Art A1 31. Januar 2019

Anmelder: National University of Singapore 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019022672
Aktenzeichen: EP18837663
Anmeldetag: 27. Juli 2018
Veröffentlichung: 31. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J27/20H01J37/317H01J49/14H01J37/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National University of Singapore
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 National University of Singapore

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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