Method of identifying and tracking roll to roll polishing pad materials during processing

WO2019022961 Art A1 31. Januar 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019022961
Aktenzeichen: EP18837557
Anmeldetag: 12. Juli 2018
Veröffentlichung: 31. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B37/20B24B21/04B24B49/12H01L21/304H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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