A device manufacturing method and a computer program product

WO2019025142 Art A1 7. Februar 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019025142
Aktenzeichen: EP18738323
Anmeldetag: 11. Juli 2018
Veröffentlichung: 7. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B24B37/005G01N21/47G01N21/84H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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