Systems and methods for charged particle flooding to enhance voltage contrast defect signal

WO2019025188 Art A1 7. Februar 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019025188
Aktenzeichen: EP18743010
Anmeldetag: 18. Juli 2018
Veröffentlichung: 7. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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