Transistor production method and transistor

WO2019026394 Art A1 7. Februar 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019026394
Aktenzeichen: EP18840292
Anmeldetag: 22. Mai 2018
Veröffentlichung: 7. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/336H01L21/203H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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