Pattern forming method and processing solution

WO2019026885 Art A1 7. Februar 2019

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019026885
Aktenzeichen: EP18842250
Anmeldetag: 31. Juli 2018
Veröffentlichung: 7. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/32C08F20/10G03F7/038G03F7/039G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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