Method for detecting voids and an inspection system

WO2019028017 Art A1 7. Februar 2019

Anmelder: Applied Materials Israel Ltd., Applied Materials, Inc. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019028017
Aktenzeichen: EP18840570
Anmeldetag: 31. Juli 2018
Veröffentlichung: 7. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01Q90/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel Ltd.
Applied Materials, Inc.
Land: 🇮🇱 Israel

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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