Vacuum Pump

WO2019030965 Art A1 14. Februar 2019

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019030965
Aktenzeichen: EP18844420
Anmeldetag: 27. März 2018
Veröffentlichung: 14. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F04C29/04B22D19/00F04C25/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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