Method for manufacturing mems vibration element, and mems vibration element
WO2019031565
Art A1
14. Februar 2019
Anmelder: National University Corporation Shizuoka University, Saginomiya Seisakusho, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019031565
- Aktenzeichen
- EP18844287
- Anmeldetag
- 8. August 2018
- Veröffentlichung
- 14. Februar 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81C1/00B81B3/00H01G5/013H01G7/02H02N2/18H02N11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National University Corporation Shizuoka University
Saginomiya Seisakusho, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National University Corporation Shizuoka University
Die National University Corporation Shizuoka University ist eine staatliche japanische Universität mit Sitz in der Präfektur Shizuoka, bekannt für Forschung an bildgebenden Halbleitersensoren. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Nachrichtentechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2024 ab.
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