Nuisance reduction using location-based attributes

WO2019032414 Art A1 14. Februar 2019

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019032414
Aktenzeichen: EP18845272
Anmeldetag: 6. August 2018
Veröffentlichung: 14. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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