Method for handling several masks, method for processing substrates and apparatus for coating substrates

WO2019034255 Art A1 21. Februar 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019034255
Aktenzeichen: EP17758472
Anmeldetag: 17. August 2017
Veröffentlichung: 21. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56C23C14/12C23C14/04C23C16/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von