Vacuum exhaust device and method for cooling vacuum exhaust device
WO2019035239
Art A1
21. Februar 2019
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019035239
- Aktenzeichen
- EP18846911
- Anmeldetag
- 27. März 2018
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04C29/04F04C25/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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