Plasma abnormality determination method, semiconductor device manufacturing method, and substrate processing device

WO2019035314 Art A1 21. Februar 2019

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019035314
Aktenzeichen: EP18846162
Anmeldetag: 20. Juli 2018
Veröffentlichung: 21. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00C23C16/52H01L21/31H01L21/318H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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