Fluid supply device and liquid discharge method for said device

WO2019035351 Art A1 21. Februar 2019

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019035351
Aktenzeichen: EP18846925
Anmeldetag: 31. Juli 2018
Veröffentlichung: 21. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B01J4/00B05B12/00B05C11/10B05D3/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von