Machine Learning in Metrology Measurements
WO2019035854
Art A1
21. Februar 2019
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019035854
- Aktenzeichen
- EP17921605
- Anmeldetag
- 6. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06F17/50G06N99/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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