Apparatus and method for real-time sensing of properties in industrial manufacturing equipment

WO2019036587 Art A1 21. Februar 2019

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019036587
Aktenzeichen: EP18846051
Anmeldetag: 17. August 2018
Veröffentlichung: 21. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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