Apparatus for transportation of a carrier in a vacuum chamber, and method for transportation of a carrier in a vacuum chamber

WO2019037872 Art A1 28. Februar 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019037872
Aktenzeichen: EP17761223
Anmeldetag: 25. August 2017
Veröffentlichung: 28. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50B65G49/07C23C14/56H01J37/32H01L21/677H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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