Semiconductor production method, substrate processing apparatus, and program

WO2019039127 Art A1 28. Februar 2019

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019039127
Aktenzeichen: EP18847792
Anmeldetag: 12. Juli 2018
Veröffentlichung: 28. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/318C23C16/34C23C16/42C23C16/455C23C16/50H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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