Measuring thin films on grating and bandgap on grating

WO2019040515 Art A1 28. Februar 2019

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019040515
Aktenzeichen: EP18848099
Anmeldetag: 21. August 2018
Veröffentlichung: 28. Februar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01B11/06H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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