Low temperature direct bonding of aluminum nitride to alsic substrates
WO2019040753
Art A1
28. Februar 2019
Anmelder: Georgia Tech Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019040753
- Aktenzeichen
- EP18848302
- Anmeldetag
- 23. August 2018
- Veröffentlichung
- 28. Februar 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L23/373H01L21/02F28F21/08
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Georgia Tech Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Georgia Tech Research Corporation
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