Susceptor, epitaxial growth device, epitaxial silicon wafer manufacturing method, and epitaxial silicon wafer

WO2019043865 Art A1 7. März 2019

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019043865
Aktenzeichen: EP17923205
Anmeldetag: 31. August 2017
Veröffentlichung: 7. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/458C30B25/12H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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