Component and semiconductor manufacturing apparatus

WO2019044850 Art A1 7. März 2019

Anmelder: Shibaura Institute of Technology, Toshiba Materials Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019044850
Aktenzeichen
EP18851146
Anmeldetag
28. August 2018
Veröffentlichung
7. März 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065C23C14/08C23C14/28
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Shibaura Institute of Technology
Toshiba Materials Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba Materials

Toshiba Materials ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toshiba-Konzerns, spezialisiert auf keramische und magnetische Werkstoffe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie anorganische Chemie und Werkstoffe, ergänzt um Metallurgie. Anmeldungen erstrecken sich über die Jahre 2004 bis 2024.

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