Component and semiconductor manufacturing apparatus
WO2019044850
Art A1
7. März 2019
Anmelder: Shibaura Institute of Technology, Toshiba Materials Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019044850
- Aktenzeichen
- EP18851146
- Anmeldetag
- 28. August 2018
- Veröffentlichung
- 7. März 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3065C23C14/08C23C14/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shibaura Institute of Technology
Toshiba Materials Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Materials
Toshiba Materials ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toshiba-Konzerns, spezialisiert auf keramische und magnetische Werkstoffe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie anorganische Chemie und Werkstoffe, ergänzt um Metallurgie. Anmeldungen erstrecken sich über die Jahre 2004 bis 2024.
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