Design Criticality Analysis Augmented Process Window Qualification Sampling

WO2019046495 Art A1 7. März 2019

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019046495
Aktenzeichen: EP18850402
Anmeldetag: 30. August 2018
Veröffentlichung: 7. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

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