Spin-on inorganic oxide containing composition useful as hard masks and filling materials with improved thermal stability

WO2019048393 Art A1 14. März 2019

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019048393
Aktenzeichen: EP18765841
Anmeldetag: 4. September 2018
Veröffentlichung: 14. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C18/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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