Training methods for machine learning assisted optical proximity error correction

WO2019048506 Art A1 14. März 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019048506
Aktenzeichen: EP18766204
Anmeldetag: 5. September 2018
Veröffentlichung: 14. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F1/36G06F17/50G06N99/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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