Fluid device and use thereof

WO2019049204 Art A1 14. März 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019049204
Aktenzeichen
EP17924376
Anmeldetag
5. September 2017
Veröffentlichung
14. März 2019
Rechtsraum
WO
IPC
C12M1/33C12M1/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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