Susceptor, cvd device, and method for manufacturing epitaxial wafer

WO2019049469 Art A1 14. März 2019

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019049469
Aktenzeichen: EP18854084
Anmeldetag: 22. Juni 2018
Veröffentlichung: 14. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/42C23C16/44H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von