A sputtering system and method

WO2019050483 Art A1 14. März 2019

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019050483
Aktenzeichen: EP18853454
Anmeldetag: 11. September 2018
Veröffentlichung: 14. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology and Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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