Methods of handling a mask device, apparatus for exchanging a mask device, mask exchange chamber, and vacuum system

WO2019050507 Art A1 14. März 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019050507
Aktenzeichen: EP17924526
Anmeldetag: 5. September 2017
Veröffentlichung: 14. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L51/56H01L51/00H01L21/67H01L21/033G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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