Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks bei der Herstellung eines Optischen Elements

WO2019052705 Art A1 21. März 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019052705
Aktenzeichen
EP18740747
Anmeldetag
3. Juli 2018
Veröffentlichung
21. März 2019
Rechtsraum
WO
IPC
B29D11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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